電子級(jí)超純水系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)解讀：百惠浦如何保障芯片制造用水安全？
在納米級(jí)的芯片制造工藝中，即使水中含有億萬(wàn)分之一的雜質(zhì)，也如同在光滑的鏡面上投下巨石，足以導(dǎo)致整批晶圓報(bào)廢。因此，電子級(jí)超純水系統(tǒng)不再是輔助設(shè)備，而是生產(chǎn)線上的“心臟”。百惠浦深度聚焦半導(dǎo)體行業(yè)需求，打造的電子級(jí)超純水系統(tǒng)嚴(yán)格遵循國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，為您的芯片制造保駕護(hù)航。
一、電子級(jí)超純水有多“純”？看懂ASTM標(biāo)準(zhǔn)
電子行業(yè)超純水遵循美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)的ASTM D5127標(biāo)準(zhǔn)，其對(duì)關(guān)鍵指標(biāo)的要求達(dá)到了極致水平：
電阻率（25℃）： ≥ 18.2 MΩ·cm（理論極限值）
總有機(jī)碳（TOC）： ≤ 5 ppb（微克/升），甚至要求達(dá)到≤ 2 ppb。
顆粒物（>0.05μm）： ≤ 1 個(gè)/mL
微生物（細(xì)菌）： ≤ 1 CFU/1000mL
二氧化硅： ≤ 2 ppb
百惠浦電子級(jí)超純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)目標(biāo)，正是要穩(wěn)定地產(chǎn)出優(yōu)于此標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)。
二、百惠浦電子級(jí)超純水系統(tǒng)的核心技術(shù)保障
為確保出水水質(zhì)萬(wàn)無(wú)一失，百惠浦系統(tǒng)集成了多項(xiàng)尖端技術(shù)：
1. 深度除鹽與除TOC工藝：
采用“RO+EDI+拋光混床”的三重保險(xiǎn)，確保電阻率持續(xù)穩(wěn)定。
在系統(tǒng)關(guān)鍵位置設(shè)置185nm/254nm雙波長(zhǎng)紫外燈（UV燈），有效分解水中的有機(jī)碳（TOC），將其氧化成二氧化碳和水，再通過(guò)脫氣膜去除。
2. 嚴(yán)格的微生物控制方案：
系統(tǒng)采用全封閉循環(huán)設(shè)計(jì)，并使用0.04μm超濾（UF）作為終端過(guò)濾，徹底截留細(xì)菌和熱源。
管道采用高光滑度的PVDF或316L不銹鋼材質(zhì)，并設(shè)計(jì)定期循環(huán)殺菌功能，防止微生物滋生和生物膜形成。
3. 智能化監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯：
系統(tǒng)不僅監(jiān)控電阻率和TOC，還對(duì)溫度、壓力、流量、SDI（污染指數(shù)）進(jìn)行全方位監(jiān)測(cè)。
所有水質(zhì)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄并生成報(bào)告，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)品質(zhì)追溯的苛刻要求，為工藝改進(jìn)提供數(shù)據(jù)支持。
三、百惠浦：您專業(yè)的電子級(jí)超純水系統(tǒng)合作伙伴
選擇百惠浦，意味著您選擇了：
行業(yè)經(jīng)驗(yàn)： 我們對(duì)半導(dǎo)體工藝用水痛點(diǎn)有深刻理解，能提供更具針對(duì)性的方案。
模塊化與可擴(kuò)展性： 系統(tǒng)設(shè)計(jì)預(yù)留升級(jí)空間，可根據(jù)產(chǎn)能提升方便地進(jìn)行擴(kuò)容。
全生命周期服務(wù)： 提供從驗(yàn)證支持到定期維護(hù)、耗材更換的一站式服務(wù)，確保系統(tǒng)在整個(gè)生命周期內(nèi)保持最佳性能。
水質(zhì)決定芯片品質(zhì)。面對(duì)日益精進(jìn)的制程工藝，對(duì)電子級(jí)超純水系統(tǒng)的要求只會(huì)越來(lái)越高。百惠浦愿以領(lǐng)先的技術(shù)和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膽B(tài)度，成為您值得信賴的純水伙伴，共同助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起。歡迎垂詢百惠浦電子級(jí)超純水系統(tǒng)詳細(xì)資料！
2025年09月27日
